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1.课程介绍

《微纳传感器技术》课程以微纳传感器为核心，从微纳材料的结构、特性、制造出发，结合力、热、光、磁、生物等多种物理传感特性，解析相关微纳传感器的原理、性能及构造。课程内容涉及微纳结构制造、传感原理、传感特性、器件构造等多个学科领域，打造原理起源-结构特性-器件构造为一体的交叉课程体系。通过本课程学习，可使学生了解微纳传感器的重要意义和发展趋势，掌握微纳结构的各种传感原理及相关传感器的构造原理、设计开发，培养学生对微纳传感技术的科学兴趣，以及将传感理论知识应用于实际传感器的设计和开发能力，提升其科学研究和创新能力。

2. 课程团队

本课程教学团队由麻豆TV-每日推荐麻豆TV最热视频合集 4 位副教授与 1 位半导体装备制造企业专家共同组成。团队主要研究方向涵盖纳米科学与技术、等离子体物理、力学传感、光电传感、磁学传感、生物传感、真空传感与检测等领域，与《微纳传感器技术》课程内容高度契合。团队注重多学科交叉融合，着力培养学生的创新意识与工程实践能力。

陈成，麻豆TV-每日推荐麻豆TV最热视频合集 副教授，博士生导师，广东省机械工程学会摩擦学分会理事。主讲《微纳传感器技术》、《3D数字工匠入门》、《工程制图2》、《早期工程实践》等课程。主要研究方向为微纳制造、摩擦学及柔性传感。主持国家自然科学基金、省市级自然科学基金等多项课题，曾获教育部自然科学二等奖，并在Carbon等国际知名期刊发表多篇论文。

曹媛媛，麻豆TV-每日推荐麻豆TV最热视频合集 副教授，主讲《微纳传感器技术》、《工程制图》、《早期工程实践》等课程。主要研究方向为纳米结构的生长机理与可控制造，碳基材料的生物传感及智能可穿戴健康监测系统研究。主持国家自然科学基金、省市级自然科学基金等多项课题，曾获教育部自然科学二等奖、广东省科学技术奖一等奖等奖项，在Nano Letters等国际知名期刊发表论文多篇。

王超，麻豆TV-每日推荐麻豆TV最热视频合集 副教授，博士生导师，中国机械学会摩擦学分会委员、广东省机械工程学会摩擦学分会理事，深圳市高层次人才，南山区 “领航”人才，国家留学基金委公派访问学者。主讲《纳米表面科学与工程》、《机械设计》、《工程制图》等课程。主要研究方向为纳米表面工程、碳基自旋电子学、碳基量子效应传感器。主持国家自然科学基金、省市级自然科学基金等多项课题，曾获教育部自然科学二等奖，深圳市自然科学二等奖，在Carbon、Applied Physics Letters等期刊发表代表作20余篇。

张希，麻豆TV-每日推荐麻豆TV最热视频合集 副教授，博士生导师，深圳市优青，中国机械工程学院微纳制造分会理事，中国光学工程学会青年委员。主讲《微纳传感器技术》、《高等工程数学》、《C程序设计》等课程。主要研究方向为微纳制造及柔性传感。主持国家自然科学基金面上项目、青年项目、省市级自然科学基金等多项课题，并在National Science Review, Adv. Func. Mater.等国际知名期刊发表多篇论文。2018年“挑战杯”中国大学生创业计划大赛，全国金奖；2023年与2024年，“互联网+”中国国际大学生创新创业大赛，全国银奖。

陈文聪，深圳市水木仪器有限责任公司创始人、总经理、总工程师，清华博士创业团队核心成员。专注等离子体测试诊断技术与装备研发，带领团队建成国内首家等离子体诊断仪器专业研制企业，打破国外长期垄断。成功研制朗缪尔静电探针、减速场离子能量分析仪、微波发卡探针、高能离子 EB 探针、射频等离子体源等系列产品，技术水平世界一流，拥有完全自主知识产权及多项国家发明专利、软件著作权。

撰写：黄丞正

排版：陈仕发

一审一校：黄丞正

二审二校：龚峰

三审三校：郑纯